研究設備
うちは製造業ですから～♪
当研究室の所有している主要機材には機材購入の原動力となる研究成果を上げた学生さんの名前が付けられています。もしかしたら「あなた」の名前が残るかもしれませんね。装置利用を希望される方は金子までご連絡ください。
現在稼働中の装置たち
○マイクロ波プラズマCVD装置(セキテクノトロン AX5250)
(押木、佐藤、垣本 プラズマCVD炉)
○ホウ素ドープ用マイクロ波プラズマCVD装置(コーンズテクノロジー AX5010-INT)
(今野、佐竹 プラズマCVD炉)
○マイクロ波プラズマCVD装置(コーンズテクノロジー AX5010)
○ホットフィラメントCVD装置
○RFスパッタ
○抵抗加熱・電子ビーム蒸着装置(パスカル 特注品)
○卓上型DCスパッタリング装置(サンユー電子 SC-701HMC II)
○レーザー顕微鏡(キーエンス VK-X100)
(佐竹レーザー顕微鏡)
○微分干渉顕微鏡(Olympus BX60M)
○ドラフト(強酸用)
○低圧プラズマ洗浄/処理装置(Diener PICO)
○小型真空置換電気炉(フルテック FT-01VAC-30/50)
(新名小型真空置換炉) 小さくて実に便利。
○各種チェッキングソース
γ線源:137Cs, 133Ba, 60Co, 241Am, 22Na, β線源:90Sr, 137Cs, α線源:241Am、中性子線源:252Cf)
○放射線機器装置
NIMモジュール類
MCA(横川WE7562×2台、Labo 2100C/MCA×3台、Labo MCA600)
GSO、BGOシンチレータ、SSD、CdTe半導体検出器 等
○1GHz、600MHzデジタルオッシロスコープ(LeCroy) 他数台
○5GHzデジタルオッシロスコープ(LeCroy)
(川村オッシロスコープ)
○I-V測定装置(keithley 237)
○半導体検出器容量計(クリアパルス 7500型)
○分光光度計(日本分光 FP-8600)
(春名PL装置)
○紫外可視分光光度計(日本分光 V-630・積分球付)
(嶋岡紫外可視分光装置)
○半導体・シンチレータ高温特性評価装置(自作)
(宮崎高温特性評価装置)
○四探針抵抗率測定器および測定架台(共和理研 K-705RSおよびK504RB)
○レーザー加工機(smartDIYs Etcher Laser 3.5W)
○研磨機(ムサシノ電子 MA-200e)
○切断機(ムサシノ電子 MPC-200)
○精密小型切断機(リファインテック RCA-005)
○冷間静水等方圧プレス機(三庄インダストリー LCP80-200A)
(坪田(陽)CIP)
○1800度箱型炉(モノリス Super-S)
(植田Box炉)
○3Dプリンター(ELEGOO SATURN)
○SAL1000デスクトップALD装置(菅製作所 AV328-A9)
○半導体パラメータアナライザ(アジレント B1505A)
○小型卓上型マニュアルプローバー(ベクターセミコン TS50)
○超高真空マイクロプローバー(ハイブリッジ HUMP-100)
(おやじスペシャル・タンデムターボ仕様)
○ワイヤーボンダー(超音波工業 USW-5Z60K)
○遊星ボールミル(フリッチュ 遊星型ボールミル P6)
(嶋岡・坪田(陽)遊星ボールミル) 現在貸し出し中。
○3次元CNCベースマシン(FNS BM532T)
(平井NC加工機) ワークショップにお嫁に行きました。
倉庫でお休み中の装置たち
○誘導加熱型チョクラルスキー炉(テクノサーチ TCH-05)
(川村CZ炉)
○高速昇温電気炉 (モトヤマ NH-3035F)
(山口 Box炉)
○卓上型単結晶育成装置 (キャノンマシーナリー Aタイプ)
(平井FZ炉)
○四楕円鏡型浮遊帯域溶融装置(クリスタルシステムズ FZ-T-10000型)
(樋口大明神FZ炉)
○213nmUVパルスレーザーシステム(Quanta system Nd:YAG UVパルスレーザー)
(平井UVパルスレーザー)
○ダイヤモンド電子源評価装置(自作)
(福本電子源評価装置)
○超精密研磨システム(ムサシノ電子 MA-150)
○真空置換アニール炉(フルテック FT-6800H)
(西方真空置換炉)
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